حسگر گازی بر پایه سیلیکون متخلخل
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی شاهرود - دانشکده علوم انسانی
- نویسنده نازلی توکلی رودی
- استاد راهنما حسین عشقی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1390
چکیده
امروزه حسگرهای گازی مبتنی بر سیلیکون متخلخل مورد توجه زیادی قرار گرفته اند. از مهمترین مزیت های این قطعات در مقایسه با حسگرهای اکسید های فلزی آن است که می توانند با بهره نسبتا بالا در دمای اتاق کار کنند. هدف ما در این تحقیق تجربی ساخت و مشخصه یابی حسگرهای گازی بر پایه سیلیکون متخلخل می باشد که بر اساس تغییرات مشخصه الکتریکی جریان-ولتاژ در دمای اتاق کار می کند. نمونه های ما در این تحقیق به روش الکتروشیمیایی و بر روی ویفر سیلیکون بلورین (100) نوع p ساخته شده و سازوکار جذب گازهای مختلف از جمله دی اکسید کربن و نیز گازهای آلی همچون استون، متانول و اتانول مورد بررسی قرار گرفته اند. در این مورد پارامترهای گوناگون شامل غلظت اسید (hf) در محلول، چگالی جریان اعمال شده و زمان آنودیزاسیون بر میزان تخلخل سطح نمونه ها مطالعه شده است. در این تحقیق از مشخصه یابی های وابسته به تصویر برداری میکروسکوپ الکترونی (sem) و طیف سنجی فوتولومینسانس (pl) به عنوان ابزاری برای مقایسه مورفولوژی سطح و میزان نسبی تخلخل در نمونه ها استفاده کرده ایم. نتایج تجربی ما حاکی از آن است که میزان تخلخل سطحی نقشی کلیدی در حسگری نمونه ها داشته که بایستی با تغییر در پارامترهای رشد به شرایط بهینه دست یافت.
منابع مشابه
بررسی تاثیر غلظت فسفر بر عملکرد سلولهای خورشیدی حالت جامد پایه سیلیکون متخلخل
در پژوهش حاضر، تاثیر غلظت فسفر در محلول آلاینده بر عملکرد سلولهای خورشیدی حالت جامد پایه سیلیکون متخلخل مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور بسترهای سیلیکونی به روش حکاکی شیمیایی توسط نقره و با استفاده از محلول حکاکی آبی حاوی هیدروفلوریک اسید و هیدروژنپروکسید به نسبتهای 82/0، 87/0 و 89/0 حکاکی شدند و خصوصیات نوری و سطحی آنها به ترتیب توسط بازتابسنجی و میکروسکوپهای نوری و الکترونی روب...
متن کاملساخت حسگر بسپاری منگنز بر پایه پویشگری
در این پژوهش، تهیه یک حسگر بسپاری جدید برای اندازه‌گیری یون منگنز در محیط آبی با استفاده از روش پویشگری به‌دلیل داشتن مزایایی از قبیل ارزانی قیمت، توانایی حمل‌ونقل آسان، امکان به‌کارگیری بسترهای غیرشفاف مانند فیلم‌های بسپاری، امکان اندازه‌گیری تعداد بسیار زیاد نمونه به‌طور هم‌زمان و صرفه‌جویی در زمان معرفی شده است. به‌منظور تهیه فیلم بسپاری حسگر منگنز، بسپار تری‌استیل‌سلولز به‌عنوان بستر انتخاب...
متن کاملاستخراج پارامترهای تشخیص از پاسخ گذرای حسگر گاز الکتروسرامیکی متخلخل
روش جدیدی را برای تشخیص جنس یک گاز هدف خالص در هوا بر اساس تحلیل ریاضی پاسخ گذرای حسگر گاز نیمه هادی پیشنهاد می‌کنیم. حسگر گاز مورد نظر از نوع مقاومتی و دارای بدنه حساس متخلخل است. معادله نفوذ – واکنش در خصوص بدنه متخلخل الکتروسرامیکی و شرایط حدی حاکم بر ساختمان افزار مورد نظر حل گردید. اهم پارامترهای وابسته به نوع گاز (پارامترهای تشخیص) مشخص و آثار ناشی از آنها در پاسخ گذرای حسگر به روشهای رقو...
متن کاملاستخراج پارامترهای تشخیص از پاسخ گذرای حسگر گاز الکتروسرامیکی متخلخل
روش جدیدی را برای تشخیص جنس یک گاز هدف خالص در هوا بر اساس تحلیل ریاضی پاسخ گذرای حسگر گاز نیمه هادی پیشنهاد می کنیم. حسگر گاز مورد نظر از نوع مقاومتی و دارای بدنه حساس متخلخل است. معادله نفوذ – واکنش در خصوص بدنه متخلخل الکتروسرامیکی و شرایط حدی حاکم بر ساختمان افزار مورد نظر حل گردید. اهم پارامترهای وابسته به نوع گاز (پارامترهای تشخیص) مشخص و آثار ناشی از آنها در پاسخ گذرای حسگر به روشهای رقو...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی شاهرود - دانشکده علوم انسانی
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023